氣冷羅茨螺桿泵真空機組能工作在中真空范圍，是適合的，故又稱羅茨增壓泵，由于其壓縮比不高，正好可連接幾Pa至幾百Pa的范圍。當三級高真空機組進入較高的真空度時，由于主泵的排氣流量明顯減少，此時僅靠一臺較小的前級泵便可維持抽氣的連續(xù)性，在實際運用中這是經(jīng)常采用的方法，這樣可減少機組的能耗。高真空機組往往需要三級機組的另一個原因歸結(jié)于高真空泵的吸入壓力的限制。泵都有起始工作壓強，傳統(tǒng)的高真空泵都在幾Pa的范圍。因此前級泵必須預抽到這一壓力主泵才能開始工作。但直排大氣的前級泵抽至這一壓力往往需要較長的時間，因為隨著壓力降低泵的抽速在減小，特別是對于周期性抽氣的真空機組，對達到工作真空度的時間是有要求的，預抽時間越長，進入工作真空度的時間也越長，故增加一臺中真空泵與前級低真空泵配合，可在較短的時間達到主泵可以工作的壓力，這樣可以使系統(tǒng)盡快地進入工作壓力，保證了設(shè)備的使用效率。