氣冷羅茨真空泵意味著該泵可以在大氣壓下開頭泵送，并且可以將泵送的氣體直接排放到大氣中。泵腔內(nèi)沒有油或其他介質(zhì)，并且泵的極限壓力與油密封的真空泵處于同一水平。或靠近機(jī)械真空泵。
在氣冷羅茨真空泵行業(yè)中，當(dāng)前大多數(shù)真空泵都使用油，水和其他聚合物作為泵介質(zhì)。它們的主要功能是潤滑，冷卻和密封。但是，真空泵和抽運(yùn)系統(tǒng)有以下問題要解決：1、泵的工作介質(zhì)污染了抽運(yùn)的容奣。最直接的后果是它將影響產(chǎn)品質(zhì)量并增加泵的維護(hù)成本；2、在此過程中，反應(yīng)材料會(huì)使泵中的介質(zhì)變質(zhì)，從而導(dǎo)致泵體無法正常工作。 這是當(dāng)前面臨的兩個(gè)主要問題。
氣冷羅茨真空泵的使用可以取得很好的效果，那么氣冷羅茨真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域有哪些？以下將重點(diǎn)介紹其應(yīng)用范圍：
1、氣冶羅茨泵適用于化學(xué)，制藥和食品德業(yè)的蒸餾，干燥，脫氣，包裝等，以防止有機(jī)溶劑污染；
2、低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝；
3、半導(dǎo)體刻蝕工藝，這些生產(chǎn)工藝常常使用腐蝕性氣體和磨料顆粒；
4、除半導(dǎo)體工藝外，某些還會(huì)產(chǎn)生顆粒的工藝。在這些過程中，顆粒不會(huì)混入油泵中，而是從油泵中排出，這可以通過干式真空泵解決；
5、用作常規(guī)無油清潔真空系統(tǒng)的前泵，以防止油污染。
