羅茨滑閥真空機組是由普通羅茨泵為主泵、滑閥真空泵為前級泵串聯(lián)組成的真空機組。通過真空繼電器或電接點壓力表，來實現(xiàn)羅茨泵滑閥泵的自動啟閉，自動過載保護。整套機組安裝在一個機架上，配以管道、閥門、電器操作控制箱、冷卻水管系統(tǒng)。機組結(jié)構(gòu)緊湊，使用方便。

根據(jù)被抽真空系統(tǒng)的大小及極限壓力的不同，真空機組各泵之間的名義抽速之比一般在4：至10：1之間，前者較后者適用于較大真空系統(tǒng)及長時間在較低入口壓力或極限真空情況下工作。本系列機組為了防止滑閥泵停機時返油，在前級進口管道上裝有電磁充氣閥，其動作與前級泵電動機實現(xiàn)聯(lián)動，當滑閥泵停泵前，向泵口充氣，確保滑閥泵內(nèi)的真空油返回到油箱內(nèi)，同時防止真空系統(tǒng)受到真空油污染。